三星电子智能传感器系统问世 帮助半导体工艺准确测量

根据韩媒ETNews报道，三星电子公司正致力于开发一种名为“智能传感器系统”的新技术。这一技术被用于控制和管理半导体工艺。

晶圆等离子均匀性被认为是提高半导体良率的关键因素之一。而“智能传感器系统”可以通过精确测量和管理蚀刻、沉积和清洗等工艺性能，来准确测量等离子均匀性，并有望进一步提高半导体的良率和产能。

目前，三星电子大部分所需的晶圆智能传感器都采购自国外厂商，耗资甚巨。然而，在需求不断攀升的情况下，三星正在努力转向自主研发以降低对外国传感器的依赖程度。

据悉，“智能传感器系统”是超小型的，不会对现有设备空间产生重大影响。这意味着在提高空间利用率的同时也能增加产能。

此外，三星电子计划逐步扩大“智能传感器系统”的应用范围。除了等离子体之外，该公司还致力于开发各种半导体工艺所需的各种SMART传感器和系统。